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  • 技術文章

    多晶硅還原爐鐘罩內部清洗方法及清洗裝置

    2024-08-27 15:01:03  來源:德高潔
    在生產多晶硅的生產技術中,改良西門子法為主要的生產方法。在生產多晶硅棒的過程中,將三氯氫硅(SiHCl3)和氫氣(H2)按一定比例混合后通往還原爐鐘罩內,還原爐內設有有用于提供附著體的硅芯。在反應器溫度達1000~1200℃時,三氯氫硅被氫氣還原后,生成硅并不斷附著在硅芯上,*終得到硅棒。多晶硅還原爐是這一生產過程中至關重要的設備,而鐘罩作為還原爐的重要組成部分,其功能和維護同樣不可忽視。
     
    多晶硅還原爐內部污垢清洗設備

    一、多晶硅還原爐鐘罩的作用

    1、功能: 鐘罩是還原爐中的關鍵部件,它負責收集還原過程中產生的氣體,防止這些氣體直接進入爐體或其他部位,保證爐內環(huán)境的穩(wěn)定。
    2、結構: 鐘罩通常由耐高溫和耐腐蝕材料制成,能夠承受還原過程中產生的高溫和化學反應產生的腐蝕性氣體。

    二、清洗的必要性

    1、防止堵塞: 長時間使用后,鐘罩內部可能積累沉積物和污染物,這些沉積物可能導致氣體流動不暢,甚至堵塞氣體通道。
    2、提高效率: 定期清洗鐘罩可以確保氣體的順暢流動,維持爐內的溫度和化學反應穩(wěn)定,從而提高生產效率和產品質量。
    3、減少故障: 清洗可以減少設備故障的風險,延長鐘罩的使用壽命。
     
    多晶硅還原爐內部污垢清洗

    三、清洗步驟
    1、停機準備: 在進行清洗之前,必須確保還原爐已經完全停機并冷卻,以避免高溫和潛在的危險。
    2、拆卸鐘罩: 根據(jù)設備的設計,拆卸鐘罩可能需要使用專用工具。注意拆卸過程中保護好周圍的設備和管道。
    3、初步檢查: 檢查鐘罩的狀態(tài),記錄任何明顯的損壞或磨損。必要時,進行修理或更換部件。

    四、清洗過程:
    德高潔自主研發(fā)并投入使用了一套多晶硅還原爐鐘罩自動清洗烘干系統(tǒng),由高壓熱水清洗系統(tǒng)、熱風凈化烘干系統(tǒng)、清洗工作臺及管道、電氣控制系統(tǒng)等組成,能夠自動化完成還原爐鐘罩內部的自動清洗及烘干,提高還原爐鐘罩清洗效率及質量。
     

     
    1、系統(tǒng)清洗流程:還原爐鐘罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走,一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程,可實現(xiàn)遠程對樓下設備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。
    多晶硅還原爐鐘罩前后清洗對比

    2、系統(tǒng)清洗原理:工作原理以高壓水動力裝置產生的熱水射流為動力,以水力自驅動三維的洗罐器為執(zhí)行噴頭,在一定的工作時間形成360°的網狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液,用脫鹽水預洗、漂洗,高純水沖洗,完成清洗過程。清洗過程中三維清洗噴頭在選裝過程中可自動升降,因此可以全面的對還原爐鐘罩內部進行清洗,確保還原爐鐘罩內部的清洗質量。

    德高潔是一家成立于1994年的清潔環(huán)保設備供應商,公司擁有20余人研發(fā)團隊,旗下部署工藝組、技術組、質檢組,實時管控產品性能、質量,并通過ISO9001質量體系認證,長期服務于國企、軍工、外資、上市公司等企業(yè),德高潔自2007年起便開始研發(fā)高效率、高環(huán)保、高質量的自動化清洗系統(tǒng),期間自主研發(fā)了針對罐車、反應釜、多晶硅還原爐鐘罩、噸桶、罐式集裝箱、蒸發(fā)罐、發(fā)酵罐等容器自動清洗系統(tǒng),可根據(jù)企業(yè)實際生產工況量身定制自動化清洗解決方案,如您有需求,歡迎電話聯(lián)系,我們將竭誠為您服務
     
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    李周 先生
    售前工程師
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